| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
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| 射頻電源 | 13.56MHz, 1000W |
| 真空泵 | 干泵 |
| 清洗產(chǎn)品尺寸 | 長160-300mm 寬25-78mm 厚度0.1-2mm |
| 軌道數(shù)量 | 4個(gè) |
| UPH | 根據(jù)客戶工件材質(zhì)、清洗時(shí)間、真空程度等決定 |
| 清洗效果 | 水滴角測試≥30°(以引線框架為例) |
| 供電電源 | 380V/30A/50Hz(3P5W) |
| 設(shè)備整機(jī)功率 | ≤1000W |
| 壓縮空氣 | 0.4-0.6MPa |
| 制程氣體 | 標(biāo)配 Ar,1路工藝氣體 |
| 管路排氣 | 廠務(wù)排氣 |
| 設(shè)備占地面積 | L*W: 2000mm*2000mm (機(jī)器與墻之間需留出400mm的距離來放置真空泵,排氣管道路等) |
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